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博鱼体育官网国产300mm超薄晶圆减薄抛光一体机完成工艺使用突破外洋把持场面

来源:小编 发布时间:2023-01-24 次浏览

博鱼体育官网国产300mm超薄晶圆减薄抛光一体机完成工艺使用突破外洋把持场面

  重大专项 “300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化” 项目顺利通过国家科技部的正式验收。

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  中电科公司“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化”项目顺利通过验收;航天工程公司国家级重点专项日投煤3500吨气化炉的辐射废锅内件出厂;中冶京诚“基于大数据的钢铁生产全流程质量分析系统研究与应用”科技成果通过评价。4月以来,北京经开区企业科技创新好消息不断,面向世界高技术前沿、面向国家战略需求的“硬核”产品和技术取得积极进展,创新驱动发展不断迈出新步伐。

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  在国家02科技重大专项的支持下,中电科公司对工艺需求进行项目攻关,突破关键技术、系统集成、工艺验证与优化,历经三个阶段,攻克超薄晶圆减薄的核心技术、压力控制技术、亚微米清洗技术以及薄片传输等关键技术,取得上百项国内发明专利、3项国际发明专利,成功研发出国内首台具有自主知识产权并满足大生产的300mm减薄抛光一体机。目前,该型减薄抛光一体机正在国内封装龙头企业实现工艺应用,大幅降低了国内封装厂的采购成本博鱼体育注册

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